高精度及強大功能Park原子力顯微鏡產品特性
Park
XE15具備多個特殊功能，是共享實驗室處理各類樣品、研究員進行多變量實驗、失效分析師研究晶片等的好選擇。
MultiSample™（多重采樣TM）掃描器帶來便捷樣品測量
多樣品一次性自動成像
特殊設計的多樣品夾頭，*多可承載16個獨立樣品
全自動XY樣品載臺，行程范圍達200 mm x 200 mm。
無軸間耦合提高掃描精度
兩種獨立閉環XY和Z平板式掃描
平板式和線性XY掃描可達100μm x 100μm，且殘余壓彎小
整個掃描范圍內的異面移動小于2nm
強力掃描器達25μm Z掃描范圍
精準的高度測量
Non-Contact™（真正非接觸TM）模式延長針尖使用壽命、改善樣品保存及精度
其Z掃描頻寬是壓電管基礎系統的10倍
非接觸式可降低針尖磨損、延長使用壽命
成像分辨率高于同類原子力顯微鏡
降低樣品干擾，提高掃描精度
提供很好的用戶體驗
開放式側面接入，提高樣品及針尖更換效率
預對準的針尖安裝和軸上俯視法可簡單直觀地實現激光對準
燕尾鎖封片方便鏡頭拆卸
界面帶自動設置功能，方便用戶使用
多種模式與選項
綜合性測量模式及特性設置，是我司通用型原子力顯微鏡
多種可選配件及更新，擴展性能優越
為缺陷分析提供先進電氣測量
產品特點
100um x 100 um掃描范圍的XY柔‘性導向掃描器
XY掃描器含系統二維彎曲及強力壓電堆疊，可使極小平面外移動形成較大的正交運動，并能快速響應，實現樣品納米級掃描。
柔性導向強力Z掃描器
在強力壓電堆疊的驅動及彎曲結構的引導下，其硬度允許掃描器高速豎直運動，較傳統原子力顯微鏡掃描器更加高速。*大Z型掃描范圍搭配遠程Z掃描器（選配）可延長12μm至25μm。
滑動連接的超亮二極管頭
通過將原子力顯微鏡頭沿楔形軌道滑動，可輕松將其插入或取出。低相干的超發光二極管頭可實現高反射表面的成像和力-矩光譜的測量。超亮二極管頭的波長幫助減輕干擾問題，因此用戶在可見光譜實驗中也可使用本產品。
多樣品夾頭
特殊設計的多樣品夾頭，*多可承載16個獨立樣品，由多重采樣掃描器自動按順序掃描。特殊的夾頭設計為接觸樣品針尖預留了邊通道。
選配編碼器的XY自動樣品載臺
自動集成XY載臺可輕松并控制樣品的測量位置。XY樣品載臺的行程范圍可配置為150
mm x 150 mm或200 mm x 200 mm。若搭配自動載臺使用編碼器，可提高樣品定位的精準度和重復性。編碼XY載臺工作時分辨率為1 μm，重復率為2 μm。編碼Z載臺的分辨率為0.1
μm，重復率為1 μm。
高分辨率數碼變焦感光元件攝像頭
高分辨率數碼感光元件攝像頭利用直接同軸光學，具備變焦功能，無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質量。
垂直對齊的自動Z載臺及聚焦載臺
Z載臺和聚焦載臺可將懸臂嚙合到樣品表面上，同時確保用戶視野清晰穩定。聚焦載臺是由軟件控制自動運行的，因此滿足透明樣品及液態元件應用所需精度。
彎曲基底解耦XY和Z掃描器
Z掃描器與XY掃描器完全解耦。XY掃描器在水平面上移動樣品，同時Z掃描器豎直移動探針。
此配置以*小異面移動，實現了平板式XY掃描。此XY掃描同時還具有高正交性與線性。
業內低本底噪聲
為探測*小樣品的特性，幫助運動平面成像，Park
Systems設計了業內0.5A以下的低本底噪聲標準設備。使用“零掃描”探測本地噪聲數據。
真正非接觸模式延長針尖使用壽命
XE系列原子力顯微鏡已成功搭配磚利強力Z掃描系統獨有的真正非接觸模式。真正非接觸模式下，使用的是相吸而非相排斥的內部原子力。
真正非接觸模式因此成功地保持了針尖樣品納米級間距，改善了原子力顯微鏡圖像，保持針尖的銳利，因此有效延長了針尖使用壽命。
預對準懸臂支撐
預先安裝在探針支撐上，因此不需要嚴格對齊激光束。
高分辨率的直接同軸光學元件
用戶可直接俯視觀看樣品，操控樣品表面，從而很容易就能找到目標區域。高分辨率數碼攝像頭具備變焦功能，無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質量。
帶DSP控制芯片的XE控制電子元件
原子力顯微鏡發出的納米級信號將由高性能Park
XE電子元件控制并處理。Park
XE電子元件為低噪聲設計，配備高速處理單元，可成功實現真正非接觸™模式，是納米級成像及電壓電流精準測量的理想選擇。
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600 MHz、4800 MIPS速度的高性能處理單元
- 低噪聲設計，適合電壓電流精準測量
-通用系統，各SPM技術均可得到應用
- 外部信號接入模塊，存取原子力顯微鏡輸入/輸出信號
- *多16個數據成像
- *大數據尺寸：4096
x 4096像素
- 16位ADC/DAC，速度達500 kHz
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TCP/IP連接，隔離計算機接出電噪